| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Звегинцев, Р. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-09-27T12:43:42Z | - |
| dc.date.available | 2017-09-27T12:43:42Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Звегинцев, Р. А. Высокочастотный емкостный разряд в обработке изделий электронной техники / Р. А. Звегинцев // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : сборник материалов 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов БГУИР, Минск, 2–6 мая 2017 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2017. – С. 56–57. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25789 | - |
| dc.description.abstract | Высокочастотный емкостный разряд (ВЧЕ-разряд) формируется в системе из двух плоскопараллельных электродов,
на которые подается напряжение. Данный тип разряда нашел широкое применение в современном производстве
электронной техники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | высокочастотные емкостные разряды | ru_RU |
| dc.subject | электронная техника | ru_RU |
| dc.title | Высокочастотный емкостный разряд в обработке изделий электронной техники | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 53-й научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2017)
|
