Исследование процессов формирования структур энергонезависимой памяти с использованием ВЧ-магнетронного напыления : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Достанко, А. П.	-
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.contributor.author	Мельников, С. Н.	-
dc.date.accessioned	2017-10-04T13:35:10Z	-
dc.date.available	2017-10-04T13:35:10Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Исследование процессов формирования нанокристаллических пленок оксида цинка в условиях ионной бомбардировки : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко; отв. исполнитель Д. А. Голосов. – Минск, 2016. – 54 с. - № ГР 2014334	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 2014334	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26062	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	№ T14P-165 от 23.04.2014 г.;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	ВЧ магнетронное распыление	ru_RU
dc.title	Исследование процессов формирования структур энергонезависимой памяти с использованием ВЧ-магнетронного напыления : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016