Методы получения оксидных диэлектриков с улучшенными значениями диэлектрической проницаемости для конденсаторных структур новых поколений изделий электроники : отчет о НИР (заключ.)

Гурский, Л. И.; Крылова, Г. В.; Каланда, Н. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Гурский, Л. И.	-
dc.contributor.author	Крылова, Г. В.	-
dc.contributor.author	Каланда, Н. А.	-
dc.date.accessioned	2017-10-12T06:26:22Z	-
dc.date.available	2017-10-12T06:26:22Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Методы получения оксидных диэлектриков с улучшенными значениями диэлектрической проницаемости для конденсаторных структур новых поколений изделий электроники : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Л. И. Гурский ; отв. исполнитель Г. В. Крылова . – Минск , 2016. – 81 с. - № ГР 20142656	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142656	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26341	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ № 14-3026;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.subject	квантовые методы расчета	ru_RU
dc.subject	поликристаллические материалы	ru_RU
dc.subject	длинноволновое приближение	ru_RU
dc.title	Методы получения оксидных диэлектриков с улучшенными значениями диэлектрической проницаемости для конденсаторных структур новых поколений изделий электроники : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016