| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Нелаев, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Стемпицкий, В. Р. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-10-17T12:14:34Z | - |
| dc.date.available | 2017-10-17T12:14:34Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.citation | Нелаев В. В. Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий.- Минск: БГУИР, 2004.- 102 c.: ил. | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 985-444-556-9 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720 | - |
| dc.description.abstract | В пособии приведено описание физических моделей, используемых в
программном комплексе ATHENA фирмы Silvaco для компьютерного
моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов
формирования приборов микроэлектроники, а также технологического
маршрута изготовления интегральной схемы в целом. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | учебно-методические пособия | ru_RU |
| dc.subject | компьютерное моделирование | ru_RU |
| dc.subject | микроэлектроника | ru_RU |
| dc.title | Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Кафедра микро- и наноэлектроники
|
