Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.)

Хмыль, А. А.; Кушнер, Л. К.; Кузьмар, И. И.; Богуш, Н. В.; Василец, В. К.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Хмыль, А. А.	-
dc.contributor.author	Кушнер, Л. К.	-
dc.contributor.author	Кузьмар, И. И.	-
dc.contributor.author	Богуш, Н. В.	-
dc.contributor.author	Василец, В. К.	-
dc.date.accessioned	2017-10-23T12:44:18Z	-
dc.date.available	2017-10-23T12:44:18Z	-
dc.date.issued	2016	-
dc.identifier.citation	Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер . – Минск , 2016. – 53 с. - № ГР 20142482	ru_RU
dc.identifier.govdoc	№ ГР 20142482	-
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27091	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.relation.ispartofseries	ГБЦ 14-3017;;	-
dc.subject	отчеты о НИР	ru_RU
dc.title	Разработка и исследование электрохимического формирования в ультразвуковом поле металлизации в отверстиях промежуточной монтажной кремниевой пластины при создании объемных 2,5d микросхем : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2016