Оптимизация технологии формирования элементной базы на основе структур «кремний-на-изоляторе» : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Ефремов, В. А.	-
dc.contributor.author	Красиков, М. Г.	-
dc.date.accessioned	2017-11-02T06:45:53Z	-
dc.date.available	2017-11-02T06:45:53Z	-
dc.date.issued	2011	-
dc.identifier.citation	Оптимизация технологии формирования элементной базы на основе структур «кремний-на-изоляторе» : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Ефремов ; отв. исполнитель М. Г. Красиков . - Минск , 2011 . – 41 с. - № ГР 20092414	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27455	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Оптимизация технологии формирования элементной базы на основе структур «кремний-на-изоляторе» : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2011