Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Величко, О. И.	-
dc.contributor.author	Аксенов, В. А.	-
dc.contributor.author	Бурунова, О. Н.	-
dc.contributor.author	Княжева, Н. В.	-
dc.contributor.author	Гундорина, Е. А.	-
dc.date.accessioned	2017-11-02T09:17:41Z	-
dc.date.available	2017-11-02T09:17:41Z	-
dc.date.issued	2011	-
dc.identifier.citation	Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель О. И. Величко ; отв. исполнитель В. А. Аксенов . - Минск , 2011 . – 95 с. - № ГР 20091365	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27492	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработать модели для расчета распределений примесных атомов после быстрого термического отжига имплантированных слоев кремния в условиях подавления скоротечной диффузии : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2011