Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)

Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лазарук, С. К.	-
dc.contributor.author	Долбик, А. В.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T06:23:39Z	-
dc.date.available	2017-11-16T06:23:39Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. К. Лазарук ; отв. исполнитель А. В. Долбик. – Минск, 2014. – 44 с. - № ГР 20120762	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27758	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014