Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)

Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С.; Купреева, О. В.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Лабунов, В. А.	-
dc.contributor.author	Лазарук, С. К.	-
dc.contributor.author	Долбик, А. В.	-
dc.contributor.author	Кацуба, П. С.	-
dc.contributor.author	Купреева, О. В.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T06:26:38Z	-
dc.date.available	2017-11-16T06:26:38Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск, 2014. – 58 с. - № ГР 20120761	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014