Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)

Хмыль, А. А.; Кушнер, Л. К.; Кузьмар, И. И.; Богуш, Н. В.; Бранцевич, В. К.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Хмыль, А. А.	-
dc.contributor.author	Кушнер, Л. К.	-
dc.contributor.author	Кузьмар, И. И.	-
dc.contributor.author	Богуш, Н. В.	-
dc.contributor.author	Бранцевич, В. К.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T06:30:43Z	-
dc.date.available	2017-11-16T06:30:43Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. А. Хмыль ; отв. исполнитель Л. К. Кушнер.– Минск, 2014. – 45 с. - № ГР 20113907	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27760	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования медных стержней в отверстиях с большим аспектным числом внутри кремниевых пластин, соединяющих эти пластины в 3d-структуры ИМС : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014