Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.)

Достанко, А. П.; Мельников, С. Н.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Достанко, А. П.	-
dc.contributor.author	Мельников, С. Н.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T06:44:35Z	-
dc.date.available	2017-11-16T06:44:35Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель С. Н. Мельников .– Минск, 2014. –105 с. - № ГР 20113903	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27765	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Моделирование процессов формирования микро- и наноструктур управляемого состава с заданной геометрией расположения на поверхности подложки с учетом процессов распыления мишени, транспорта вещества и конденсации на подложке : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014