Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Достанко, А. П.	-
dc.contributor.author	Телеш, Е. В.	-
dc.contributor.author	Коробко, А. О.	-
dc.contributor.author	Гуревич, О. В.	-
dc.contributor.author	Римша, А. В.	-
dc.contributor.author	Ковалева, А. П.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T07:13:47Z	-
dc.date.available	2017-11-16T07:13:47Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В.Телеш . – Минск, 2014. – 55 с. - № ГР 20120395	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27777	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Получение барьерных и контактных слоев термостабильных силицидов металлов и проводящих оксидов ионно-плазменными методами для изделий электронной техники : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014