Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Достанко, А. П.	-
dc.contributor.author	Телеш, Е. В.	-
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.contributor.author	Вашуров, А. Ю.	-
dc.contributor.author	Ковалева, А. П.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T08:14:28Z	-
dc.date.available	2017-11-16T08:14:28Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель А. П. Достанко ; отв. исполнитель Е. В. Телеш . – Минск, 2014. – 80 с. - № ГР 20115151	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27800	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработать принципы формирования вторичных ионных пучков, высокочастотного и среднечастотного разрядов в магнетронных распылительных системах : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014