Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.)

Сокол, В. А.; Яковцева, В. А.; Радионов, А. А.; Копоть, А. И.; Глушков, А. А.; Бобрович, Ю. М.; Мельникова, С. В.; Короткевич, Д. А.; Биран, С. А.

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Сокол, В. А.	-
dc.contributor.author	Яковцева, В. А.	-
dc.contributor.author	Радионов, А. А.	-
dc.contributor.author	Копоть, А. И.	-
dc.contributor.author	Глушков, А. А.	-
dc.contributor.author	Бобрович, Ю. М.	-
dc.contributor.author	Мельникова, С. В.	-
dc.contributor.author	Короткевич, Д. А.	-
dc.contributor.author	Биран, С. А.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T08:21:33Z	-
dc.date.available	2017-11-16T08:21:33Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Сокол ; отв. исполнитель В. А. Яковцева . – Минск, 2014. – 65 с. - № ГР 20121095	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27802	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработать технологию модификации наноразмерных пленок плотных анодных оксидов алюминия для применения в микроэлектронных приборах : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014