Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Тимошков, Ю. В.	-
dc.contributor.author	Сакова, А. А.	-
dc.contributor.author	Тимошков, В. Ю.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T12:36:20Z	-
dc.date.available	2017-11-16T12:36:20Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель Ю. В. Тимошков ; отв. исполнитель Ю. В. Тимошков. – Минск, 2014. – 28 с. - № ГР 20122084	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27861	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка технологии создания прецизионных 3d-структур на основе сверхтолстых эпоксидных фоторезистов и формирования гальваническим осаждением функциональных материалов : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014