Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.)

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.author	Завадский, С. М.	-
dc.contributor.author	Голосов, Д. А.	-
dc.date.accessioned	2017-11-16T12:43:30Z	-
dc.date.available	2017-11-16T12:43:30Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель С. М. Завадский ; отв. исполнитель Д. А. Голосов . – Минск , 2014. – 67 с. - № ГР 20121838	ru_RU
dc.identifier.uri	https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27865	-
dc.language.iso	ru	ru_RU
dc.publisher	БГУИР	ru_RU
dc.title	Разработка физико-технологических основ создания гибридных технологических процессов нанесения тонкопленочных слоев с использованием комбинированных ионно-плазменных разрядов : отчет о НИР (заключ.)	ru_RU
dc.type	Отчеты о НИР	ru_RU
Appears in Collections:	Отчеты о НИР 2014