| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ташлыкова-Бушкевич, И. И. | - |
| dc.contributor.author | Яковенко, Ю. С. | - |
| dc.contributor.author | Ташлыков, И. С. | - |
| dc.contributor.author | Барайшук, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Михалкович, О. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-12-07T08:07:22Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-07T08:07:22Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Применение метода атомно – силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно – ассистированного осаждения / И. И. Ташлыкова-Бушкевич и др. // Методологические аспекты сканирующей зондовой микроскопии: материалы XII Междунар. науч. Конф. – Минск: ИТиМО НАН Беларуси, 2016. – С. 94 – 98. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28366 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлены результаты исследования топографии поверхности тонких пленок состава Al – 1,0 ат.% Cr, Al – 1,5 ат.% Fe, сформированных ионно – ассистированным осаждением на стеклянных подложках. Получены данные по шероховатости исследованных поверхностей. Обсуждается процесс формирования пленок. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ИТиМО НАН Беларуси | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | морфология | ru_RU |
| dc.subject | шероховатость | ru_RU |
| dc.subject | тонкие пленки | ru_RU |
| dc.subject | ионно-ассистированное осаждение | ru_RU |
| dc.title | Применение метода атомно – силовой микроскопии для исследования морфологии поверхности тонких пленок, сформированных методом ионно – ассистированного осаждения | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
