| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Баранов, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Скопцов, А. М. | - |
| dc.contributor.author | Врабий, Э. М. | - |
| dc.contributor.author | Шахлевич, Г. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-12-15T09:41:51Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-15T09:41:51Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин / В. В. Баранов и другие // Приборостроение –2017: материалы 10-й Междунар. научно-технической конференции, Минск, 1–3 ноября 2017 г. – Минск : БНТУ, 2017. - С. 293-295. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28663 | - |
| dc.description.abstract | Химическая обработка с помощью реактива Каро и водного раствора перекиси водорода с аммиаком при финишной очистке поверхности полупроводниковых пластин дли-тельная и энергоемкая. Описаны экспериментальный образец обору-дования и технология финишной обработки кремниевых пластин, отличающиеся пониженным расхо-дом дорогостоящих реактивов и повышенной энергоэффективностью за счет использования инфракрас-ного нагрева и термостатирования ванны. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БНТУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | химическая обработка | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая подложка | ru_RU |
| dc.subject | технологическое оборудование | ru_RU |
| dc.subject | инфракрасный нагрев | ru_RU |
| dc.subject | энерго- и материалосбережение | ru_RU |
| dc.title | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
