| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Белоус, А. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T08:03:31Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T08:03:31Z | - |
| dc.date.issued | 2016 | - |
| dc.identifier.citation | Солодуха, В. А. Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии / В. А. Солодуха, А. И. Белоус // Наука и техника. – 2016. – № 4(15). – С. 329 – 334. – DOI: 10.21122/2227-1031-2016-15-4-329–334. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803 | - |
| dc.description.abstract | Предложен метод измерения глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин, основанный на использовании оже-спектрометра с прецизионным распылением поверхностных слоев кремния и регистрацией интенсивности выхода оже-электронов. Для измерения глубины нарушенного слоя с помощью оже-спектроскопии снимается зависимость количества выходящих оже-электронов от времени распыления (профиль), и затем эта зависимость анализируется. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Белорусский государственный технический университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | кремниевая пластина | ru_RU |
| dc.subject | нарушенный слой | ru_RU |
| dc.subject | оже-электроны | ru_RU |
| dc.subject | глубина нарушений | ru_RU |
| dc.title | Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
