Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorБелоус, А. И.-
dc.date.accessioned2017-12-20T08:03:31Z-
dc.date.available2017-12-20T08:03:31Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationСолодуха, В. А. Измерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопии / В. А. Солодуха, А. И. Белоус // Наука и техника. – 2016. – № 4(15). – С. 329 – 334. – DOI: 10.21122/2227-1031-2016-15-4-329–334.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28803-
dc.description.abstractПредложен метод измерения глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин, основанный на использовании оже-спектрометра с прецизионным распылением поверхностных слоев кремния и регистрацией интенсивности выхода оже-электронов. Для измерения глубины нарушенного слоя с помощью оже-спектроскопии снимается зависимость количества выходящих оже-электронов от времени распыления (профиль), и затем эта зависимость анализируется.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБелорусский государственный технический университет, Республика Беларусьru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectкремниевая пластинаru_RU
dc.subjectнарушенный слойru_RU
dc.subjectоже-электроныru_RU
dc.subjectглубина нарушенийru_RU
dc.titleИзмерение глубины нарушенного слоя на поверхности кремниевых пластин методом оже-спектроскопииru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Izmereniye.pdf565.01 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.