| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Шведов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Шабалина, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Устименко, Д. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-12-20T08:37:06Z | - |
| dc.date.available | 2017-12-20T08:37:06Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 83 – 84. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлены результаты комплексного анализа дефекта межслойного диэлектрика микросхемы 1594 ЛИ9Т. Глубина дефекта определялась с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) при последовательном удалении межслойного диэлектрика методом прецизионной химикомеханической полировки. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | «Политехпериодика» | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | дефект микросхемы | ru_RU |
| dc.subject | сканирующий зондовый микроскоп | ru_RU |
| dc.subject | прецизионная химикомеханическая полировка | ru_RU |
| dc.title | Анализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
