Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorШведов, С. В.-
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.-
dc.contributor.authorПетлицкая, Т. В.-
dc.contributor.authorШабалина, С. В.-
dc.contributor.authorУстименко, Д. С.-
dc.date.accessioned2017-12-20T08:37:06Z-
dc.date.available2017-12-20T08:37:06Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationАнализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопа / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 22 — 26 мая 2017 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 83 – 84.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28809-
dc.description.abstractВ работе представлены результаты комплексного анализа дефекта межслойного диэлектрика микросхемы 1594 ЛИ9Т. Глубина дефекта определялась с помощью сканирующего зондового микроскопа (СЗМ) при последовательном удалении межслойного диэлектрика методом прецизионной химикомеханической полировки.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisher«Политехпериодика», Украинаru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectдефект микросхемыru_RU
dc.subjectсканирующий зондовый микроскопru_RU
dc.subjectпрецизионная химикомеханическая полировкаru_RU
dc.titleАнализ дефектов интегральных схем с использованием атомно-силового микроскопаru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Analiz.pdf568.99 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.