Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.-
dc.contributor.authorШведов, С. В.-
dc.contributor.authorПанфиленко, А. К.-
dc.contributor.authorПетлицкая, Т. В.-
dc.contributor.authorФилипеня, В. А.-
dc.contributor.authorЖигулин, Д. В.-
dc.date.accessioned2017-12-20T08:50:26Z-
dc.date.available2017-12-20T08:50:26Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationИспользование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистора / В. А. Пилипенко и др. // Современные информационные и электронные технологии: Международная научно-практическая конференция (Одесса, 23 — 27 мая 2016 г.). – Одесса: Политехпериодика. – С. 148 – 149.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28812-
dc.description.abstractВ работе представлены результаты по получению вольтамперных характеристик (ВАХ) биполярного n-p-n- транзистора в составе микросхемы с субмикронными проектными нормами. Измерения проводились с использование растрового электронного микроскопа. Зонды устанавливались на вольфрамовые столбики. Для подготовки образца использовался метод прецизионной химико-механической подготовки.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisher«Политехпериодика», Украинаru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectинтегральная микросхемаru_RU
dc.subjectбиполярный транзисторru_RU
dc.subjectВАХru_RU
dc.subjectстолбиковые контактыru_RU
dc.subjectнанозондыru_RU
dc.subjectхимико-механическая полировкаru_RU
dc.titleИспользование четырехзондового наноманипулятора для измерения вольтамперной характеристики биполярного N-P-N -транзистораru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Pilipenko_Ispolzovaniye.pdf370.9 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.