Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Авторефераты магистерских диссертаций
  4. 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29157
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorРымко, В. М.-
dc.date.accessioned2018-01-11T07:02:01Z-
dc.date.available2018-01-11T07:02:01Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationРымко, В. М. Формирование микроизображений методом бесшаблонной иммерсионной литографии : автореф. дисс. ... магистра технических наук : I-41 80 03 / В. М. Рымко ; науч. рук. А. Г. Черных. - Минск : БГУИР, 2017. - 6 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29157-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectмикроизображенияru_RU
dc.subjectбесшаблонная иммерсионная литографияru_RU
dc.titleФормирование микроизображений методом бесшаблонной иммерсионной литографииru_RU
dc.typeАвторефератru_RU
Appears in Collections:1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Rymko.pdf487.05 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.