| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-18T08:28:18Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-18T08:28:18Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, А. А. Роль исходной поверхности подложки при формировании нанокластеров кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1036 – 1041. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29372 | - |
| dc.description.abstract | Проведен анализ и поиск новых перспективных материалов для подзатворного диэлектрика и затвора МДП структур для Flash EEPROM, изучены особенности структурирования базовых элементов на основе нанокластеров кремния, германия и твердого раствора кремний-германия от условий их получения, которые определяют возможность управления электрофизическими параметрами МДП структур. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Севастопольский государственный университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | энергетический потенциал | ru_RU |
| dc.subject | наноостровки | ru_RU |
| dc.subject | моносилан | ru_RU |
| dc.subject | адатомы | ru_RU |
| dc.subject | нитрид кремния | ru_RU |
| dc.subject | аморфный кремний | ru_RU |
| dc.subject | германий | ru_RU |
| dc.subject | нанокластеры | ru_RU |
| dc.title | Роль исходной поверхности подложки при формировании нанокластеров кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
