| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-18T08:34:22Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-18T08:34:22Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, А. А. Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1042 – 1049. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29373 | - |
| dc.description.abstract | Представлен механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния и выведена формула расчета равновесной концентрации носителей заряда при легировании поликристаллических пленок кремния германием. Установлено, что равновесная концентрация германия в ультратонких пленках поликристаллического кремния меняется пропорционально корню квадратному величины давления его одноатомных паров в газовой фазе. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Севастопольский государственный университет | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пленки кремния и германия | ru_RU |
| dc.subject | примесные атомы | ru_RU |
| dc.subject | синхронизация | ru_RU |
| dc.subject | твердый раствор | ru_RU |
| dc.subject | полупроводник | ru_RU |
| dc.subject | легирующая примесь | ru_RU |
| dc.title | Механизм растворения изовалентной примеси в ультратонких пленках поликристаллического кремния | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
