| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Курапцова, А. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-19T07:52:42Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-19T07:52:42Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Курапцова, А. А. Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / А. А. Курапцова ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2017. - 7 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29411 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | ионно-оптическая система | ru_RU |
| dc.subject | мультипольный многоапертурный ионно-лучевой источник | ru_RU |
| dc.subject | нанопокрытия | ru_RU |
| dc.title | Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
