| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-19T08:51:39Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-19T08:51:39Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Лушакова, М. С. Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типа / М. С. Лушакова, О. И. Тихон // Физика конденсированного состояния (ФКС – XXV): XXV Международная научно-практическая конференция аспирантов, магистрантов и студентов. – Гродно: ГрГУ, 2017. – С. 203 – 205. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29419 | - |
| dc.description.abstract | Проведено исследование характеристик возбуждения, поддержания и погасания разряда в молекулярных газах для селективного травления материалов плазмой низкочастотного разряда
(10-30 кГц) Е-типа в условиях предионизации плазмы СВЧ разрядом. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | ГрГУ им. Я. Купалы | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ | ru_RU |
| dc.subject | предионизации | ru_RU |
| dc.subject | газовый разряд | ru_RU |
| dc.title | Исследование влияния СВЧ предионизации на условия пробоя в молекулярных газах в разрядной системе Е-типа | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
