| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Лушакова, М. С. | - |
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-01-19T09:06:31Z | - |
| dc.date.available | 2018-01-19T09:06:31Z | - |
| dc.date.issued | 2017 | - |
| dc.identifier.citation | Лушакова, М. С. Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа / М. С. Лушакова, О. И. Тихон // Новые материалы, оборудование и технологии в промышленности: материалы Международной научно-технической конференции молодых ученых (Могилев, 26 – 27 октября 2017 г.). – Могилев: Белорусско-Российский университет, 2017. – С. 89. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29421 | - |
| dc.description.abstract | Проведено изучение спектральных характеристик комбинированного (НЧ+СВЧ поля) разряда в процессе плазмо-химического травления пластин монокристаллического кремния. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Белорусско-Российский университет | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | комбинированный разряд | ru_RU |
| dc.subject | тлеющий разряд | ru_RU |
| dc.title | Спектральная диагностика тлеющего разряда комбинированного типа | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
