| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Шкляр, Е. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-05T13:37:39Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-05T13:37:39Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Шкляр, Е. В. Исследование вертикальных структур микросхем с использованием вертикальных, косых шлифов и сколов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-39 81 01 / Е. В. Шкляр ; науч. рук. Т. В. Петлицкая. - Минск : БГУИР, 2018. - 16 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30310 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | вертикальные структуры микросхем | ru_RU |
| dc.subject | косые шлифы | ru_RU |
| dc.subject | скосы | ru_RU |
| dc.title | Исследование вертикальных структур микросхем с использованием вертикальных, косых шлифов и сколов | ru_RU |
| dc.type | Автореферат | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-39 81 01 Компьютерные технологии проектирования электронных систем
|
