Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30459
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorГригорук, Н. А.-
dc.date.accessioned2018-03-14T08:21:47Z-
dc.date.available2018-03-14T08:21:47Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationГригорук, Н. А. Прецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их создания : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / Н. А. Григорук ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2018. - 7 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30459-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectавторефераты диссертацийru_RU
dc.subjectпрецизионные методыru_RU
dc.subjectоперативный контрольru_RU
dc.subjectтолщина тонких пленокru_RU
dc.titleПрецизионные методы оперативного контроля толщины тонких пленок в процессе их созданияru_RU
dc.typeАвторефератru_RU
Appears in Collections:1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
m_avt_Grigoruk.pdf365.29 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.