| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Сокол, В. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-03-28T12:26:29Z | - |
| dc.date.available | 2018-03-28T12:26:29Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.citation | Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 18 - 26. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739 | - |
| dc.description.abstract | Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и нано-
электронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристаль-
ных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем
межсоединений и алюминиевых корпусов для ГИС и СБИС. Представлены результаты ра-
бот по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств,
таких, как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие
на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | анодирование | ru_RU |
| dc.subject | алюминий | ru_RU |
| dc.subject | пористый оксид алюминия | ru_RU |
| dc.subject | наноэлектронные устройства | ru_RU |
| dc.title | Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств | ru_RU |
| dc.title.alternative | Electrochemical technology for micro- and nanoelectron devices | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №3 (7)
|
