| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Колешко, В. М. | - |
| dc.contributor.author | Сергейченко, А. В. | - |
| dc.contributor.author | Нелаев, В. В. | - |
| dc.contributor.author | Красиков, М. Г. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-03T12:16:16Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-03T12:16:16Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Моделирование формирования высоколегированных элементов микросенсора / В. М. Колешко и другие // Доклады БГУИР. - 2005. - № 1 (9). - С. 59 - 63. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30834 | - |
| dc.description.abstract | Рассмотрена конструкция термически изолированного мембранного микросенсора с теплорас-
пределяющей областью. Проведено моделирование процесса диффузии из окисной пленки,
полученной по золь-гель технологии, и получена зависимость распределения примеси в крем-
ниевой подложке от концентрации бора в окисле и времени процесса диффузии. Выбраны оп-
тимальные режимы создания теплораспределяющей области мембранного микросенсора с
точки зрения минимизации градиента температуры. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | технология | ru_RU |
| dc.subject | диффузия | ru_RU |
| dc.subject | легирование | ru_RU |
| dc.subject | мебранный сенсор | ru_RU |
| dc.subject | теплораспределяющая область | ru_RU |
| dc.title | Моделирование формирования высоколегированных элементов микросенсора | ru_RU |
| dc.title.alternative | Simulation of the microsensor element technology with high concentrations of impurities | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №1 (9)
|
