DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Джилавдари, И. З. | - |
dc.contributor.author | Емельянов, В. А. | - |
dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
dc.date.accessioned | 2018-04-18T09:28:23Z | - |
dc.date.available | 2018-04-18T09:28:23Z | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.citation | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом = Researches of a physic mechanical state of a surface of crystal silicon / И. З. Джилавдари [и др.] // Доклады БГУИР. – 2006. – № 2 (14). – С. 109–112. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31021 | - |
dc.description.abstract | Предложен неразрушающий метод исследования физико-механических свойств поверхности материалов, основанный на экспериментальном и теоретическом анализе характера затухания свободных колебаний физического маятника с опорой качения. Вводятся безразмерные параметры, описывающие состояние поверхности. Даются оценки состояния поверхностей кремниевых пластин с ориентацией <100> и <111>. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
dc.subject | состояние поверхности | ru_RU |
dc.subject | физико-механические параметры | ru_RU |
dc.subject | маятниковый метод исследования | ru_RU |
dc.subject | трение качения | ru_RU |
dc.title | Исследование физико- механического состояния поверхности кристаллического кремния маятниковым методом | ru_RU |
dc.title.alternative | Researches of a physic mechanical state of a surface of crystal silicon | ru_RU |
dc.type | Статья | ru_RU |
local.description.annotation | Not destructive method for research of physic mechanical properties of a surface of the materials is offered. This method is based on the experimental and theoretical analysis of character of attenuation of free oscillations of a physical pendulum with a ball support. The dimensionless parameters describing a condition of a surface are entered. Estimations of a state of surfaces of silicon plates with orientation <100> and <111> are given. | - |
Appears in Collections: | №2 (14)
|