| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Аваков, С. М. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-25T12:31:54Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-25T12:31:54Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Аваков, С. М. Методика определения способности обнаружения изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах методом сравнения с проектными данными / С. М. Аваков // Доклады БГУИР. - 2007. - № 3 (19). - С. 101 - 106. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31203 | - |
| dc.description.abstract | В статье представлены описание и результаты использования новой методики определения
обнаружительной способности установок автоматического контроля оригиналов топологии.
Эта методика реализована в установках ЭМ-6029Б и ЭМ-6329, которые осуществляют контроль оригиналов топологии СБИС на фотошаблонах путем сравнения топологии фотошаблона с проектными данными. Методика разработана для проведения испытаний с целью определения способности обнаружения дефектов типа прокол и островок (изолированных дефектов). | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | топология СБИС | ru_RU |
| dc.subject | фотошаблон | ru_RU |
| dc.subject | обнаружение дефектов | ru_RU |
| dc.title | Методика определения способности обнаружения изолированных дефектов при автоматическом контроле оригиналов топологии на фотошаблонах методом сравнения с проектными данными | ru_RU |
| dc.title.alternative | Method to determine a detection capability of the die-to-database mask inspection system in regard to isolated defects | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | The paper presents a description and results of the use of a new technique to determine the detection capability of the automatic mask inspection systems. This technique is realized in the
EM-6029B and EM-6329 systems, which employ the die-to-database inspection method. The technique is designed to determine the capability to detect such defects as pinholes and pindots (isolated
Defects). | - |
| Appears in Collections: | №3 (19)
|
