Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge

Abstract

Важным параметром создание и получение наноструктурированных пленок это выбор компонентов. Дисилан и трисилан имея слабые связи, из-за которых происходит развал молекул с образование активных радикалов SiH2 обеспечивает формирование супертонких наноструктурированных пленок с малым размером кристаллитов (<100 нм). Установлено, что с точки зрения молекулярно-кинетических свойств радикалы силен (SiH2) и гермен (GeH2) являются самыми эффективным переносчиками кремния и германия к подложке, на которой происходит формирование структурных элементов супертонких пленок поликристаллического кремния.