Электронная проводимость анодированной системы Al/Ta с островково-сетчатой композитной наноструктурой

Abstract

При анодировании двухслойной тонкопленочной системы Al/Ta под порами анодного оксида алюминия (АОА) образуются металлооксидные островки тантала, а при соблюдении определенных технологических условий (толщины тонких пленок, электрических режимов анодирования) формируются регулярные композитные пленки с островково-сетчатой наноструктурой, обладающие уникальными электрофизическими характеристиками. Для получения наноструктурированных островково-сетчатых пленок с заданными параметрами, а также для прогнозирования и управляемого варьирования их свойств исследовано влияние на проводящие свойства островково-сетчатых пленок отдельных составляющих наноструктуры анодированной системы Al/Ta.