| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Циркунова, Н. Г. | - |
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Ухов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Борисенко, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-06-05T12:48:23Z | - |
| dc.date.available | 2018-06-05T12:48:23Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 4 (34). - С. 48 - 53. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31787 | - |
| dc.description.abstract | Исследованы структурные изменения тонких пленок ниобия, нанесенных магнетронным
распылением; определена их пригодность для формирования наноразмерных структур
с помощью атомного силового микроскопа (АСМ). Изучены структурные изменения
в ниобиевых пленках, вызванные примесью железа (10 ат.%). Установлено, что в пределах
толщин пленки 15–200 нм этот параметр существенно влияет на зернистость и шероховатость поверхности в отличие от чистых пленок. Показано, что основным ограничением в
использовании ниобиевых пленок для формирования наноструктур является образование
пленки естественного окисла на их поверхности после извлечения из вакуумной камеры. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | атомно-силовая микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | модификация поверхности | ru_RU |
| dc.subject | параметры поверхности | ru_RU |
| dc.title | Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия | ru_RU |
| dc.title.alternative | Nanostructure properties of niobium thin films | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | №4 (34)
|
