| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ярмашук, Е. С. | - |
| dc.contributor.author | Бурко, С. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-13T09:00:52Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-13T09:00:52Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Ярмашук, Е. С. Исследование процесса формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением при изменении состава газовой смеси / Е. С. Ярмашук, С. С. Бурко // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 208. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32892 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | пленки оксида никеля | ru_RU |
| dc.subject | ионно-лучевое распыление | ru_RU |
| dc.subject | изменение состава газовой смеси | ru_RU |
| dc.title | Исследование процесса формирования пленок оксида никеля ионно-лучевым распылением при изменении состава газовой смеси | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
