| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Козлова, С. А. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-13T14:05:29Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-13T14:05:29Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Козлова, С. А. Технологические процессы обработки материалов, проводимые с использованием плазмы двухчастотного разряда / С. А. Козлова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 158 - 159. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32912 | - |
| dc.description.abstract | В последнее время спрос на уменьшенный размер элементов и повышенную плотность устройств на кремниевых
пластинах большего диаметра привел к появлению интегрированного кластерного инструмента для изготовления
полупроводниковых приборов. Методы изготовления полупроводников используются для формирования интегральных схем
на пластинах и часто включают в себя плазменные технологии для травления материалов из полупроводниковой пластины.
Такие процессы плазменного травления, также известные как «сухое травление», обычно выполняются в плазменном
реакторе, который использует радиочастотные генераторы для обеспечения мощности одного или нескольких электродов в
вакуумной камере, содержащей газ с заданным давлением, определенным соответствующим процессом. Двухчастотные
системы обычно используются для получения более высокой плотности ионов в плазме. Такой подход существенно влияет на
скорость травления. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | двухчастотный емкостно-связанный плазменный реактор | ru_RU |
| dc.subject | обработка метериалов | ru_RU |
| dc.title | Технологические процессы обработки материалов, проводимые с использованием плазмы двухчастотного разряда | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
