| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Кузавкова, М. Л. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-13T14:09:21Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-13T14:09:21Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Кузавкова, М. Л. Лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы / М. Л. Кузавкова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 164. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32914 | - |
| dc.description.abstract | Развитие нанотехнологий, разработка новых технологических процессов, обеспечивающих техническое
перевооружение основных отраслей производства, тесно связаны с вакуумной техникой. Новейшие технологические
разработки непосредственно связаны с использованием вакуумных установок [1]. В данной работе рассмотрен
лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы на базе поста вакуумного универсального ВУП-5,
позволяющего получить степень вакуума до 2Ч10-4 Па. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | высоковакуумная система | ru_RU |
| dc.title | Лабораторный модуль для изучения высоковакуумной системы | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
