| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Тихон, О. И. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-09-18T07:40:02Z | - |
| dc.date.available | 2018-09-18T07:40:02Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Тихон, О. И. Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа / О. И. Тихон // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 185 - 186. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32958 | - |
| dc.description.abstract | В условиях производства микро- и наноэлектроники актуальной является проблема поиска способов увеличения
производительности труда и модификации существующих технологических процессов. Стандартным путём для решения
подобных задач является повышение мощности используемого технологического оборудования. В качестве альтернативы
возможно использование методов предварительной активации реализуемых процессов, например путём фотоионизации
рабочего газа, позволяющих увеличить их эффективность. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | фотоионизация газа | ru_RU |
| dc.title | Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)
|
