Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32958
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТихон, О. И.-
dc.date.accessioned2018-09-18T07:40:02Z-
dc.date.available2018-09-18T07:40:02Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationТихон, О. И. Исследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газа / О. И. Тихон // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. А. Л. Раднёнок. – Минск, 2018. – С. 185–186.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32958-
dc.description.abstractВ условиях производства микро- и наноэлектроники актуальной является проблема поиска способов увеличения производительности труда и модификации существующих технологических процессов. Стандартным путём для решения подобных задач является повышение мощности используемого технологического оборудования. В качестве альтернативы возможно использование методов предварительной активации реализуемых процессов, например путём фотоионизации рабочего газа, позволяющих увеличить их эффективность.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectфотоионизация газаru_RU
dc.titleИсследовательский стенд для определения эффективности фотоионизации газаru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tikhon_Issledovatelskiy.pdf400.03 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.