Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЦиркунова, Н. Г.-
dc.contributor.authorЛазарук, С. К.-
dc.contributor.authorУхов, В. А.-
dc.contributor.authorБорисенко, В. Е.-
dc.identifier.citationИсследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур / Н. Г. Циркунова и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 51 - 56.ru_RU
dc.description.abstractПоказана возможность формирования наноразмерных столбиковых структур кремния высотой до 1 мкм с использованием в качестве маски при травлении наноструктурированных пленок ниобия толщиной 15–200 нм, а также влияние исходной толщины ниобиевой пленки, наносимой магнетронным распылением, на размер зерна и геометрические размеры островков масочного слоя.ru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectатомно-силовая микроскопияru_RU
dc.subjectмодификация поверхностиru_RU
dc.subjectпараметры поверхностиru_RU
dc.titleИсследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структурru_RU
dc.title.alternativeInvestigation of properties of thin niobium films for formation of column structuresru_RU
local.description.annotationThis work is oriented on investigation of possibility of formation nanosize column structures on the basis of thin niobium films. Influence of an initial thickness Nb film received by magnetron sputtering, upon the size of grain and the geometrical sizes of islets of mask layer, formed by dispersion is shown. As methods of surface research we used raster electronic microscope and atomic force Microscope.-
Appears in Collections:№3 (49)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tsirkunova_Investigation.PDF568.07 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.