| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Котов, Д. А. | - |
| dc.contributor.author | Корзун, К. А. | - |
| dc.contributor.author | Никитюк, С. А. | - |
| dc.contributor.author | Гранько, С. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-12-14T09:27:40Z | - |
| dc.date.available | 2018-12-14T09:27:40Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий / А. А. Ковалевский и др. // Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Международной научной конференции, Минск, 10 - 12 октября 2018 г. / редкол.: В. Б. Оджаев [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 261 – 266. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33878 | - |
| dc.description.abstract | Проведены численные расчеты энергий разрыва химических связей и изменения энергии Гиббса с температурой для соединений, представляющих интерес в технологии производства алмазоподобных углеродных покрытий. При проведении термодинамических расчетов реакций разложения углеводородов до углерода особое внимание было сосредоточено на метане (СН4), этилене (С2Н4),ацетилене (С2Н2) и гексилене (С6Н12), поскольку они привлекательны, благодаря минимальному соотношению в их структуре между атомами углерода и водорода. Показано, что из всех рассмотренных углеводородов и механизмов их разложения наиболее перспективным для формирования алмазоподобных (DLC) пленок является ацетилен. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУ | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | ацетилен | ru_RU |
| dc.subject | углеводороды | ru_RU |
| dc.subject | энтальпия | ru_RU |
| dc.subject | энтропия | ru_RU |
| dc.subject | энергия Гиббса | ru_RU |
| dc.subject | энергия связи | ru_RU |
| dc.title | Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
