Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий

Abstract

Проведены численные расчеты энергий разрыва химических связей и изменения энергии Гиббса с температурой для соединений, представляющих интерес в технологии производства алмазоподобных углеродных покрытий. При проведении термодинамических расчетов реакций разложения углеводородов до углерода особое внимание было сосредоточено на метане (СН4), этилене (С2Н4),ацетилене (С2Н2) и гексилене (С6Н12), поскольку они привлекательны, благодаря минимальному соотношению в их структуре между атомами углерода и водорода. Показано, что из всех рассмотренных углеводородов и механизмов их разложения наиболее перспективным для формирования алмазоподобных (DLC) пленок является ацетилен.