| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Титко, Д. С. | - |
| dc.contributor.author | Салманзадех, Г. Й. | - |
| dc.contributor.author | Марко, А. Ф. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-19T09:09:31Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-19T09:09:31Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Титко, Д. С. Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии / Д. С. Титко, Г. Й. Салманзадех, А. Ф. Марко // Информационные технологии и системы 2018 (ИТС 2018) = Information Technologies and Systems 2018 (ITS 2018) : материалы международной научной конференции, Минск, 25 октября 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; редкол. : Л. Ю. Шилин [и др.]. – Минск, 2018. – С. 74 - 75. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34228 | - |
| dc.description.abstract | В работе представлена и описана прецизионная система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии, используемая для достижения при сканировании точного совмещения координатной системы фотошаблона и координатной системы самой установки контроля и с чувствительностью до 10 нм. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | координатная система | ru_RU |
| dc.subject | контроль качества | ru_RU |
| dc.title | Система перемещений установки автоматического контроля оригиналов топологии | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | ИТС 2018
|
