| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ланин, В. Л. | - |
| dc.contributor.author | Лаппо, А. И. | - |
| dc.contributor.author | Первенецкий, А. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-19T11:35:17Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-19T11:35:17Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Ланин, В. Л. Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур / В. Л. Ланин, А. И. Лаппо, А. П. Первенецкий // Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения «INTERMATIC-2018»: материалы Международной научно-технической конференции, Москва, 19 – 23 ноября 2018 г. / МИРЭА — Российский технологический университет. – Москва, 2018. – С. 392 – 395. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34236 | - |
| dc.description.abstract | Моделированием установлено, что диаметр и глубина отверстий зависят нелинейно от энергии излучения, поэтому эффективно применять лазер с энергий более 5 Дж. Многоимпульсная обработка позволяет получать отверстия серией коротких импульсов, период следования которых значительно больше времени остывания материала. Для кремния, обладающего большей тепло-проводностью, необходимо увеличить частоту импульсов и вре-мя обработки в сравнении с поликором в 4 раза. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | МИРЭА | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | лазерное излучение | ru_RU |
| dc.subject | прошивка отверстий | ru_RU |
| dc.subject | кремний | ru_RU |
| dc.subject | 3D структуры | ru_RU |
| dc.title | Исследование процесса лазерной прошивки отверстий в кремнии при формировании 3D структур | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
