| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Кузнецов, Д. Ф. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-22T08:42:33Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-22T08:42:33Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Ковалевский, А. А. Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурам: монография / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, Д. Ф. Кузнецов. - Минск: Бестпринт; 2018. – 218 с.: ил. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34276 | - |
| dc.description.abstract | В монографии изложены результаты фундаментальных и прикладных исследований кремний-германиевых наноструктурированных пленок и нанокластеров. Описаны различные методы получения и исследования пленок для создания нанокластеров и использования их при разработке альтернативных высокоэффективных нанотехнологий. Монография предназначена для научных сотрудников, специалистов, студентов I и II ступеней высшего образования, а также аспирантов и докторантов, специализирующихся на выполнения различных исследований, связанных с разработкой нанотехнологий для создания новых изделий электронной техники. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Бестпринт | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | пленки кремний-германия | ru_RU |
| dc.subject | формирование нанокластеров | ru_RU |
| dc.subject | свойства тонких пленок | ru_RU |
| dc.subject | разновидности наноструктур | ru_RU |
| dc.title | Получение и свойства тонких пленок с кремниевыми, германиевыми и кремний-германиевыми наноструктурам | ru_RU |
| dc.type | Книга | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|
