| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Ковалевский, А. А. | - |
| dc.contributor.author | Строгова, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Кузнецов, Д. Ф. | - |
| dc.contributor.author | Воронец, Я. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-01-23T07:45:44Z | - |
| dc.date.available | 2019-01-23T07:45:44Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе / А. А. Ковалевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника. - 2018. - № 12. - С. 756-764. – DOI: 10.17587/nmst.20. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34278 | - |
| dc.description.abstract | Показана высокая степень эффективности полиметаллического катализатора (ПМК) Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе в процессе разложения моносилана при осаждении наноструктурированных поликристаллических пленок кремния. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Новые технологии | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | моногидриды | ru_RU |
| dc.subject | моносилан | ru_RU |
| dc.subject | полиметаллический катализатор | ru_RU |
| dc.subject | пленки кремния | ru_RU |
| dc.subject | полиимид | ru_RU |
| dc.title | Разложение моносилана в газовой фазе с использованием катализатора Co40Fe8Pt50Ni2 на полиимидном носителе | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
