| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Карбанович, Б. О. | - |
| dc.date.accessioned | 2015-03-02T09:48:35Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-20T12:14:53Z | - |
| dc.date.available | 2015-03-02T09:48:35Z | |
| dc.date.available | 2017-07-20T12:14:53Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Карбанович, Б. О. Компьютерное моделирование разряда в скрещенных ExH полях магнетронных распылительных систем : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / Б. О. Карбанович ; науч. рук. А. П. Достанко. - Мн.: БГУИР, 2015.- 15 с. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/3429 | - |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | авторефераты диссертаций | ru_RU |
| dc.subject | компьютерное проектирование | ru_RU |
| dc.subject | магнетронные распылительные системы | ru_RU |
| dc.title | Компьютерное моделирование разряда в скрещенных ExH полях магнетронных распылительных систем | ru_RU |
| dc.type | Abstract of the thesis | ru_RU |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
|
