DC Field | Value | Language |
dc.contributor.author | Телеш, Е. В. | - |
dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
dc.contributor.author | Гуревич, О. В. | - |
dc.date.accessioned | 2019-01-29T10:58:06Z | - |
dc.date.available | 2019-01-29T10:58:06Z | - |
dc.date.issued | 2018 | - |
dc.identifier.citation | Телеш, Е. В. Стехиометрия пленок диоксида кремния, полученных ионно-лучевым распылением / Е. В. Телеш // Журнал прикладной спектроскопии. – 2018. – Т. 85. – №1. – С. 76 – 81. | ru_RU |
dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34313 | - |
dc.description.abstract | С применением инфракрасной спектрометрии исследован состав SiOх–пленок, полученных ионно–лучевым распылением (ИЛР) кремниевой и кварцевой мишеней. Пленки толщиной 150–390 нм формировали на подложках из кремния. Установлено, что увеличение парциального давления кислорода в рабочем газе, повышение температуры подложки и наличие положительного потенциала на мишени при реактивном ИЛР кремния привело к смещению основной полосы поглощения νas в высокочастотную область и росту композиционного индекса с 1,41 до 1,85. При ИЛР кварцевой мишени стехиометрия пленок ухудшается с увеличением энергии распыляющих ионов аргона, что может быть связано с ростом скорости нанесения. Увеличение тока термоэлектронного компенсатора, повышение температуры подложки и добавка кислорода способствовали формированию SiOх–пленок с улучшенной стехиометрией. | ru_RU |
dc.language.iso | ru | ru_RU |
dc.publisher | НАН РБ | ru_RU |
dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
dc.subject | ионно–лучевое распыление | ru_RU |
dc.subject | пленки диоксида кремния | ru_RU |
dc.subject | ИК спектроскопия | ru_RU |
dc.subject | стехиометрия состава | ru_RU |
dc.title | Стехиометрия пленок диоксида кремния, полученных ионно-лучевым распылением | ru_RU |
dc.type | Статья | ru_RU |
Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь
|