Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.contributor.authorШведов, С. В.-
dc.contributor.authorЧигирь, Г. Г.-
dc.contributor.authorПетлицкий, А. Н.-
dc.contributor.authorПилипенко, В. А.-
dc.contributor.authorКовальчук, Н. С.-
dc.contributor.authorПетлицкая, Т. В.-
dc.contributor.authorФилипеня, В. А.-
dc.contributor.authorСолодуха, В. А.-
dc.date.accessioned2019-01-30T13:58:37Z-
dc.date.available2019-01-30T13:58:37Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationОперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхем / В. А. Солодуха [и др.] // Современные информационные и электронные технологии: сборник трудов 19-ой Международной научно-практической конференции (СИЭТ-2018), Одесса, 28 мая - 01 июня 2018 г. - Одесса, 2018. - С. 83 - 84.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34334-
dc.description.abstractПредложен доступный, оперативный анализ наличия загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями по измерению величины токов утечки обратносмещенных р-п переходов. Установлены критерии забракования по допустимым уровням загрязнения. Для проведения анализа не требуется дорогостоящее специализированное оборудование (масспектрометры). Анализ эффективен при проведении оперативной аттестации оборудования для проведения высокотемпературных операций.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherИздательский центр «Политехпериодика», Украинаru_RU
dc.subjectпубликации ученыхru_RU
dc.subjectматериалы конференцийru_RU
dc.subjectкремниевая пластинаru_RU
dc.subjectрекомбинационно-активные примесиru_RU
dc.subjectтоки утечкиru_RU
dc.titleОперативный анализ загрязнений кремниевых пластин рекомбинационно-активными примесями в производстве интегральных микросхемru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
Appears in Collections:Публикации в зарубежных изданиях

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Solodukha_Operativnyy.pdf269.55 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.