| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Солодуха, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкий, А. Н. | - |
| dc.contributor.author | Петлицкая, Т. В. | - |
| dc.contributor.author | Пилипенко, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Ковальчук, Н. С. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-02-01T07:18:22Z | - |
| dc.date.available | 2019-02-01T07:18:22Z | - |
| dc.date.issued | 2018 | - |
| dc.identifier.citation | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" / В. А. Солодуха [и др.] // Сборник трудов VIII Украинской конференция по физике полупро-водников, Ужгород, 2 - 4 октября 201г. / Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича. - Ужгород, 2018. - С. 402 - 403. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/34357 | - |
| dc.description.abstract | Приведены основные виды дея-тельности Государственного центра пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" . | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | Видавництво ТОВ "Рik-У" | ru_RU |
| dc.subject | публикации ученых | ru_RU |
| dc.subject | анализ отказов ИМС | ru_RU |
| dc.subject | аттестация технологических процессов | ru_RU |
| dc.subject | анализ конструкции ИМС | ru_RU |
| dc.subject | контроль химического состава | ru_RU |
| dc.title | Современные методы и оборудование для исследования полупроводниковых структур микро- и наноэлектроники в центре коллективного пользования "Белмикроанализ" ОАО"ИНТЕГРАЛ" | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях
|
